Μετρήσεις πάχους λεπτών υμένων με χρήση μεθόδου WLRS
Film thickness measurements using WLRS method
Keywords
WLRS ; Φασματοσκοπία ; Υπερφασματική απεικόνισηAbstract
Η πτυχιακή εργασία άφορα τις μετρήσεις πάχους λεπτών υμένων χρησιμοποιώντας φασματοσκοπια ανακλασης λευκου φωτος(WLRS).Κατα την διαδικασια αυτη η ακτινα απο την πηγη φωτος αλληλεπιδρα με το δειγμα και παραγει ενα σημα ανακλασης το οποιο συνεχως καταγραφεται απο το φασματομετρο.