Τεχνολογία λεπτών υμενίων: ιστορική αναδρομή και μελλοντικές εφαρμογές
Thin film technology: historical overview and future applications
Subject
TPSH::ΤεχνολογίαKeywords
Ιοντοβολή ; Λεπτά φιλμ ; Thin films ; ΝανοτεχνολογίαAbstract
Τα λεπτά υμένια διαδραματίζουν σπουδαίο ρόλο σε όλους τους τομείς της επιστήμης και στην ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας. Οι επικαλύψεις λεπτών υμενίων χρησιμοποιούνται για να τροποποιήσουν τις φυσικές και χημικές ιδιότητες και τη μορφολογία μιας επιφάνειας ή ενός υποστρώματος. Στα πλαίσια της παρούσης πτυχιακής εργασίας παρουσιάζεται ένα σύνολο τεχνικών για τη σύνθεση τέτοιων υλικών.Συγκεκριμένα, στο πρώτο κεφάλαιο γίνεται μια σύντομη εισαγωγή στην επιστήμη της τεχνολογίας των λεπτών υμενίων. Αναφέρονται περιληπτικά οι τεχνικές εναπόθεσης, οι βασικές αρχές και τα κριτήρια επιλογής μιας τεχνικής εναπόθεσης για συγκεκριμένες εφαρμογές, ενώ περιγράφονται και οι τρόποι ανάπτυξης των υμενίων.
Στο δεύτερο και το τρίτο κεφάλαιο παρουσιάζονται αναλυτικά οι φυσικές μέθοδοι εναπόθεσης, που είναι η ιοντοβολή και η εξάχνωση. Γίνεται περιγραφή των αντίστοιχων τεχνικών, ενώ δίνεται ιδιαίτερη έμφαση στη φυσική θεωρία, τον εξοπλισμό και τις εφαρμογές κάθε μεθόδου.Στο τέταρτο και το πέμπτο κεφάλαιο εξετάζονται οι χημικές μέθοδοι εναπόθεσης, οι οποίες χωρίζονται στις τεχνικές αέριας και υγρής φάσης. Αναλύονται σε βάθος ορισμένες από τις τεχνικές των ομάδων και αναφέρονται οι βασικές αρχές λειτουργίας κάθε μεθόδου καθώς και οι ιδιότητες των λεπτών υμενίων που κατασκευάζονται από τις αντίστοιχες τεχνικές.
Το έκτο κεφάλαιο περιέχει τη στατιστική μελέτη που αφορά τον αριθμό δημοσιεύσεων κάθε τεχνικής ανά έτος από το 1975 έως το 2018. Σκοπός της μελέτης είναι η καταγραφή της πορείας των τεχνικών και η ανάδειξη αυτών που παρουσιάζουν το μεγαλύτερο επιστημονικό και τεχνολογικό ενδιαφέρον τα τελευταία χρόνια.
Abstract
Thin films play an important role in all fields of science and in the development of nanotechnology. Thin film coatings are used to transform the physical and chemical properties and a surface or substrate’s morphology. This thesis presents a set of techniques for synthesizing such materials.In particular, the first chapter gives a brief introduction to the science of thin film technology. Deposition techniques, basic principles and criteria for selecting a deposition technique for specific applications are summarized, and the films’ developing ways are described.In the second and third chapters, the physical deposition methods are described in detail, which are sputtering and evaporation. A description of the respective techniques is given, with particular emphasis on the physical theory, equipment and applications of each method.In the fourth and fifth chapters, chemical deposition methods, which are separated into gas and liquid phase techniques, are discussed. Some of the techniques of the groups are analyzed in depth and the basic operating principles of each method as well as the properties of the thin films formed by the respective techniques are discussed.The sixth chapter contains the statistical study of the number of publications of each technique per year from 1975 to 2018. The purpose of the study is to record the techniques’ progress and highlight those with the greatest scientific and technological interest in recent years.
Number of pages
155Faculty
Σχολή Τεχνολογικών ΕφαρμογώνAcademic Department
Τμήμα Μηχανολόγων Μηχανικών Τ.Ε.Language
GreekCollections
Except where otherwise noted, this item's license is described as
Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα
Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα